產(chǎn)品[
住友臭氧發(fā)生器
]資料
如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱:
住友臭氧發(fā)生器
產(chǎn)品型號:
SGX-1G215NC
產(chǎn)品展商:
其它品牌
簡單介紹
住友臭氧發(fā)生器
住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池，通過電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成，以防止金屬污染達到極低水平。臭氧濃度超過400g/（n），是市場上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。
住友臭氧發(fā)生器
住友臭氧發(fā)生器的詳細介紹
住友臭氧發(fā)生器
住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池，通過電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成，以防止金屬污染達到極低水平。臭氧濃度超過400g/（n），是市場上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。
住友臭氧發(fā)生器
住友臭氧發(fā)生器應(yīng)用：
半導(dǎo)體器件
Si/復(fù)合晶圓
FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED）
光罩
發(fā)光二極管
具體信息：
|
臭氧氣體流速
|
5 to 150ppm
|
|
臭氧氣體供應(yīng)壓力
|
*大0.25MPa
|
|
臭氧化超純水流量
|
1 to 90L/min
|
|
原料氣
|
氧、氮、二氧化碳
|
|
功率
|
200-220VAC, 3-phase
|
優(yōu)勢：
濃度高，流量大
占地面積小，緊湊
運行成本低（功耗低，易損件數(shù)量少，放電單元壽命長）
高壓耐受，長壽命放電單元
快速啟動，快速響應(yīng)
與臭氧監(jiān)測儀（閉環(huán)控制）集成的穩(wěn)定濃度
CE、NRTL、半標準適用
關(guān)閉期間免維護
無氮臭氧
