產(chǎn)品[
住友臭氧發(fā)生器進口
]資料
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產(chǎn)品名稱:
住友臭氧發(fā)生器進口
產(chǎn)品型號:
SGXF
產(chǎn)品展商:
其它品牌
簡單介紹
住友臭氧發(fā)生器進口
住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池，通過電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成，以防止金屬污染達到極低水平。臭氧濃度超過400g/（n），是市場上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。
住友臭氧發(fā)生器
住友臭氧發(fā)生器進口的詳細介紹
住友臭氧發(fā)生器進口
住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池，通過電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成，以防止金屬污染達到極低水平。臭氧濃度超過400g/（n），是市場上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。
住友臭氧發(fā)生器進口
住友臭氧發(fā)生器進口應(yīng)用：
半導(dǎo)體器件
Si/復(fù)合晶圓
FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED）
光罩
發(fā)光二極管
具體
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溶解臭氧濃度
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5 to 30ppm
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臭氧化超純水流量
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1 to 60L/min
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原料氣
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氧氣、二氧化碳
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功率
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200-220VAC, 3-phase
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住友臭氧發(fā)生器進口優(yōu)勢：
根據(jù)所需流量改變流量。（降低超純水消耗量）
多室電源
采用噴射溶解法快速反應(yīng)。
與臭氧監(jiān)測儀（閉環(huán)控制）集成的穩(wěn)定濃度
無氮臭氧水
運行成本低（功耗低，易損件數(shù)量少，放電單元壽命長）
高壓耐受，長壽命放電單元
關(guān)閉期間免維護
